RS・M/Sシリーズ

特徴

• 高精度制御
  感度0.1％F.S.、繰り返し再現性±0.1％F.S.の高精度の空気圧制御が可能です。
• 優れた特性
  リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。特に、リリーフ最小圧力（リリーフ感度）が0.03kPa（理論計算値)と優れています。
• 優れた始動特性
  長時間作動しなかった後でも、圧力を再調整する必要がありません。
• 長期間の圧力安定性
  圧力設定後、設定圧を長期間正確に保持します。
• 高い圧力分解能
  5相ステッピングモータ駆動により、1ステップの駆動で設定圧を微小に、確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすることで、圧力分解能は0.1kPa以下の高分解能設定が可能です。
• 停電しても圧力を保持
  突然の停電でも、2次圧は設定圧を保持します。

用途

• 0.1kPa以下の高分解能な圧力制御が必要な用途に最適。

仕様

型式表示方法

外形寸法

オプション

■推奨ドライバ

■コネクタ一覧