RRシリーズ クリーンルーム対応

特徴

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。

• クリーン仕様
  部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
• 排気ポートを設備
  リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
• マニホールド対応
  マニホールド配管が可能です。
• 高精度
  感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。
• 長期圧力安定性
  一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど設定しません。

用途

• クリーンルーム内での精密圧力制御に最適です。

仕様

型式表示方法

特性

外形寸法図