精密加圧ヘッド（サーボプレス）
精密加圧ヘッド（サーボプレス）
低荷重領域に強いエアシリンダとVCMの一体型ヘッドを使った精密加圧ヘッドユニット
特徴
- 幅広い荷重領域(1～1000N)対応
- ±0.5Nの荷重制御
- 1μmの位置決め精度
- シリンダによる立ち上がり高速化とVCMの高精度荷重制御の両立
- 自重キャンセル機構付き。位置制御から荷重制御への切替がスムーズ
用途
- サーボプレス
- ボンディング
- 各種テスト機
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