精密加圧ヘッド（精密押圧制御ユニット）
精密加圧ヘッド（精密押圧制御ユニット）
低荷重領域に強いエアシリンダとVCMの一体型ヘッドを使った精密加圧ヘッドユニット
特徴
- エアシリンダとサーボバルブの組合せによる幅広い荷重領域(0.2～1000N)対応 ※画像仕様は1～200N仕様
- 荷重制御分解能0.1N
- 位置決め精度分解能1μm
- シリンダによる立ち上がり高速化とVCM併用により高精度なソフトタッチ制御
- 自重キャンセル機構付き。位置制御から荷重制御への切替がスムーズ
- 制御ボックス設計、システム構築も可能です。
- エアアシスト制御により、消費電力削減、発熱を抑制、低発塵
用途
- 研磨
- ボンディング
- 各種テスト機
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