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控制设备部门参加了SEMICON China 2026展会。

■展示内容:新型空气轴承气缸、精密加压头

【精密加压头】这是一款能够实现精密控制的单元,其负载控制分辨率为0.1N,位置控制精度为1μm。通过将隔膜气缸与伺服阀相结合,可实现高响应、精密控制。此外,通过添加VCM,实现了更高精度的控制。其形状、规格等均可定制。

此外,我们还展示了小型空气轴承气缸、位置控制单元等众多产品。欢迎访问本公司官网查看详情。

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