RS・M/S系列

特徴

• 高精度控制
  感度0.1％F.S.、反复再现性±0.1％F.S.的高精度的压力控制成为可能。
• 优异的特性
  泄压特性，压力特性，流量特性非常优秀。特别是泄压最小压力（泄压感度）是0.03kPa（理论计算值)的优秀特性。
• 优异的始动性
  长时间停止后，也不需要再调整设定压力。
• 长时间的压力安定性
  压力设定后，长时间保持正确的压力。
• 压力分辨率极高
  采用5相步进电机驱动，每1步的驱动的压力设定极微小，极微小，且精确变换。由于脉冲步进驱动，压力分辨率可以设定到0.1kPa以下。
• 突然停电也可以保持设定压力
  突然停电，出口压力可以保持设定值。

用途

• 最适用于0.1kPa以下的压力控制的高分辨率用途。

规格

型式表示方法

外观尺寸图

选项