控制设备事业部

RS系列无尘室对应

RS系列无尘室对应

可以在无尘室环境中使用的超精密调压阀。

特徴

因为压力控制方式是利用滚动膜片与计量膜盒采用伺服平衡方式、可以针对无尘室进行精密压力调整的超精密调压阀。

无尘室规格
部品采用不锈钢，氟橡胶，及其他部品全部采用无电解镀镍处理，最大程度上控制了发尘量。
配置排气口
泄压孔，溢流孔可以连接排气用配管，泄压空气，溢流空气都可以排到无尘室以外的大气。
模组安装对应
可以对应模组配管安装。
精度高
可以进行感度0.1%F.S.、反复再现性±0.1%F.S.的高精度压力控制。
长期间压力稳定性
设定过一次的压力经过长时间放置基本上压力没有变化。

规格

型号表示方法

特性

外观尺寸图

PRODUCT

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