RR系列 无尘室对应
RR系列 无尘室对应
可以在无尘室环境中使用的超精密气动继电器。
特徴
压力控制方式采用滚动膜片及计量膜盒利用了伺服平衡方式可以精密压力调整，无尘室对应的超精密调压阀。
- 无尘室对应
部品是不锈钢，氟橡胶，其他部品全部采用无电解镀镍处理，发尘量控制在极小的范围。 - 设置排气口
泄压孔，溢流孔都可以连接配管，泄压，溢流空气都可以排到无尘室外的大气。 - 模组对应
可以对应模组配管。 - 高精度
可以进行感度0.1%F.S.、反复再现性±0.1%F.S.的高精度压力控制。 - 长期间压力稳定性
设定过一次的压力经过长时间放置基本上压力没有变化。
用途
- 最适用无尘室中精密压力控制。
仕様
型号表示方法
特性
外形寸法図
PRODUCT
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