被动除振台

特徴

• 高除振特性，省空间设计
  弊公司的蛇腹式橡胶膜片适用于除振台，不仅拥有高除振特性，还实现了除振台本体的小型化，及由于膜片壁的薄型化实现了高应答特性。
• 专用设计
  低固有振动数调整的外接气罐，被动支撑的主动化等，可以对应客户的专用设计。

用途

• 减轻精密装置地面的振动
  半导体制造装置，半导体检查装置，液晶曝光装置，精密测定装置，精密加工机械，及其他精密设备等

规格

有关蛇腹式膜片式空气弹簧

本装置采用了，基于膜片的制造技术，非常薄壁的同时，拥有高耐久性蛇腹膜片式的空气弹簧。

型号表示方法

特性

■低垂直方向，水平方向的除振特性，垂直方向与水平方向都拥有低・稳固有的振动数，在高周波领域显示出高除振特性。

外观尺寸图