精密加压头（精密加压控制单元）

●特点

通过气缸与伺服阀的组合，可应对宽广的负载范围（0.2～1000N） ※图片所示为1～200N规格
载荷控制分辨率0.1N
定位精度分辨率1μm
通过气缸实现快速响应，并结合VCM，实现高精度的轻柔控制
配备自重抵消机构。从位置控制切换至载荷控制时过渡平滑
也可提供控制箱设计及系统构建服务。
通过气动辅助控制，降低功耗、抑制发热、减少粉尘产生

●用途

研磨
粘接
各类测试设备

●特性