パッシブ除振台

特徴

• 高除振特性、省スペース化
  弊社ベローズゴムを除振台に適用することで、高い除振特性を有するだけでなく、除振台の本体の小型化や、薄肉による高い応答性を実現致しました。
• 専用設計
  低固有振動数調整用の外付タンクや、パッシブマウントのアクティブ化等、お客様のご要望に応じた専用設計にも対応致します。

用途

• 精密装置の床振動軽減
  半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等

仕様

ベローズ式空気ばねについて

ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。

型式表示方法

特性

■低鉛直方向、水平方向の除振特性 鉛直方向、水平方向共に低く安定した固有振動数を有し、高周波領域では高い除振特性を示しています。

外形寸法図、配管容量