業種別・用途別
Category-
半導体
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ICテストハンドラ/ボンディング
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1BF シリンダ (FC/SC/PC シリーズ)
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使い方(用途)
デバイスのたわみを吸収し、検査ソケットに端子をソフトに接触させる(シリンダで押し付ける)。
ボンディングする際は、加工ヘッドをワークピースに接触させる -
特徴
- 摺動部にBFダイヤフラムを採用
- 低摩擦で滑らかなストローク
- 潤滑油不要
- 長期停止後でも固着しない
- 微圧で作動し圧力変動に感度良く応答する
- 固着トラブルが起きにくい
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ベネフィット
- 小さな荷重制御が可能(従来のエアシリンダは摩擦抵抗があり小さな荷重制御が困難)
- 精度良く最適な荷重を供給(従来のエアシリンダでは、設定荷重と実際の荷重に違いがある)
- ルブリケーターの用意が不要
- 固着トラブルが起きにくい
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2エアベアリングシリンダ (ACS/ACD シリーズ)
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使い方(用途)
デバイスのたわみを吸収し、検査ソケットに端子をソフトに接触させる(シリンダで押し付ける)。
ボンディングする際は、加工ヘッドをワークピースに接触させる -
特徴
- ロッドガイド部にエアベアリングを採用
- 摩擦抵抗ゼロで究極の低摩擦を実現
- 固着トラブルが起きにくい
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ベネフィット
- 小さな荷重制御が可能(従来のエアシリンダは摩擦抵抗があり小さな荷重制御が困難)
- 精度良く最適な荷重を供給(従来のエアシリンダでは、設定荷重と実際の荷重に違いが出やすい)
- ルブリケーターの用意が不要
- エアベアリングシリンダは摩耗がなく圧力供給に対する反応も良い(従来のゴムシールは摩耗していく)
- 固着トラブルが起きにくい
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CMP/研磨工程
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1BF シリンダ (FC/SC/PC シリーズ)
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使い方(用途)
- ドレッサーヘッドの圧力制御
- ポリッシャーヘッドの圧力制御
- BFシリンダとレギュレータ（電空変換器）の
組合せ・使用例はこちら - 固着トラブルが起きにくい
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特徴
- 摺動部にBFダイヤフラムを採用
- 低摩擦で滑らかなストローク
- 潤滑油不要
- 長期停止後でも固着しない
- 微圧で作動し圧力変動に感度良く応答する
- 固着トラブルが起きにくい
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ベネフィット
- 小さな荷重制御が可能(従来のエアシリンダは摩擦抵抗があり小さな荷重制御が困難)
- 精度良く最適な荷重を供給(従来のエアシリンダでは、設定荷重と実際の荷重に違いがある)
- ルブリケーターの用意が不要
- 固着トラブルが起きにくい
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2エアベアリングシリンダ (ACS/ACD シリーズ)
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使い方(用途)
- ドレッサーヘッドの圧力制御。
- ポリッシャーヘッドの圧力制御。
- 固着トラブルが起きにくい
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特徴
- ロッドガイド部にエアベアリングを採用
- 摩擦抵抗ゼロで究極の低摩擦を実現
- 固着トラブルが起きにくい
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ベネフィット
- 小さな荷重制御が可能(従来のエアシリンダは摩擦抵抗があり小さな荷重制御が困難)。
- 精度良く最適な荷重を供給(従来のエアシリンダでは、設定荷重と実際の荷重に違いが出やすい)
- ルブリケーターの用意が不要
- エアベアリングシリンダは摩耗がなく圧力供給に対する反応も良い(従来のゴムシールは摩耗していく)
- 固着トラブルが起きにくい
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洗浄装置
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1エアリレー (RR シリーズ)
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使い方(用途)
- エアシリンダへのエア供給
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特徴
- エアオペレートタイプ
- 精密レギュレータでクリーンルーム仕様がある
- 圧力特性、流量特性が良い
- 1次圧の変動に対して2次圧への影響がすくない
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ベネフィット
- クリーンルームで使用可能
- 圧力・流量・リリーフ特性が良いためシリンダの機能を最大限活かせる
- 電気なしで遠隔操作が可能。防爆エリアで使用できる
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2エアベアリングシリンダ (ACS/ACD シリーズ)
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使い方(用途)
- 洗浄後の拭き取りの押圧制御
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特徴
- ロッドガイド部にエアベアリングを採用
- 摩擦抵抗ゼロで究極の低摩擦を実現
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ベネフィット
- 小さな荷重制御が可能(従来のエアシリンダは摩擦抵抗があり小さな荷重制御が困難)。
- 精度良く最適な荷重を供給(従来のエアシリンダでは、設定荷重と実際の荷重に違いが出やすい)
- エアベアリングシリンダは摩耗がなく圧力供給に対する反応も良い(従来のゴムシールは摩耗していく)
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二次電池
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電極シートのハンドリング装置 (コーター・スリッター等)
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1エアリレー (RR シリーズ)
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使い方(用途)
- エアシリンダへのエア供給
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特徴
- エアオペレートタイプ
- 精密レギュレータでクリーンルーム仕様がある
- 圧力特性、流量特性が良い
- 1次圧の変動に対して2次圧への影響がすくない
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ベネフィット
- クリーンルームで使用可能
- 圧力/流量/リリーフ特性が良いためシリンダの機能を最大限活かせる
- 電気なしで遠隔操作が可能。
- 防爆エリアで使用できる
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2BF シリンダ (特殊銅フリーモデル)
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使い方(用途)
- ダンサーロールのアクチュエータ用途。テンションセンサで値を元にコントローラがエアの圧力を調整。そのエア圧力に基いた正確な出力をスムーズなストロークで実現
- BFシリンダとレギュレータ（電空変換器）の組合せ・使用例はこちら
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特徴
- 摺動部にBFダイヤフラムを採用
- 低摩擦で滑らかなストローク
- 潤滑油不要
- 長期停止後でも固着しない
- 微圧で作動し圧力変動に感度良く応答する
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ベネフィット
- 小さな荷重制御が可能(従来のエアシリンダは摩擦抵抗があり小さな荷重制御が困難)。
- 精度良く最適な荷重を供給(従来のエアシリンダでは、設定荷重と実際の荷重に違いが出やすい)
- エアベアリングシリンダは摩耗がなく圧力供給に対する反応も良い(従来のゴムシールは摩耗していく)
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メディカル
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酸素濃縮器
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1減圧弁
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使い方(用途)
- 筐体内に設置。圧力の調整用
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特徴
- コンパクトで軽量(33g)
- 低リーク設計
- 低圧対応モデル。
- 設定圧力範囲：0～45kPa(6.5psi)
- 供給圧力：200kPa Max. (29psi)
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ベネフィット
- 小さい筐体内に設定しやすい
- リークが少ない
- 優れた圧力特性
- カスタム対応可能
- 逆止弁一体型モデル
- 流量制御弁付き一体型モデル
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2樹脂チェック弁
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使い方(用途)
- 酸素の逆流防止。
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特徴
- コンパクトで軽量(3g)
- 低クラッキング圧(1kPa以下)
- アンブレラシールを使用したシンプルな構造
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ベネフィット
- 部品点数が少なく歩留まり率が高い
- 低コスト
- 微圧環境で使用可能
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気腹装置
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1減圧弁
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使い方(用途)
- 筐体内に設置。圧力の調整用
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特徴
- コンパクトで軽量(33g)
- 低リーク設計
- 低圧対応モデル。
- 設定圧力範囲：0～45kPa(6.5psi)
- 供給圧力：200kPa Max. (29psi)
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ベネフィット
- 小さい筐体内に設定しやすい
- リークが少ない
- 優れた圧力特性
- カスタム対応可能
- 逆止弁一体型モデル
- 流量制御弁付き一体型モデル
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2樹脂チェック弁
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使い方(用途)
- 酸素の逆流防止。
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特徴
- コンパクトで軽量(3g)
- 低クラッキング圧(1kPa以下)
- アンブレラシールを使用したシンプルな構造
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ベネフィット
- 部品点数が少なく歩留まり率が高い
- 低コスト
- 微圧環境で使用可能
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麻酔装置
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1リリーフ弁
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使い方(用途)
- リリーフ弁
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特徴
- コンパクト設計
- 工場出荷時に正確なクラッキング圧力が設定
- 様々なサイズとクラッキング圧が選択可能
- 本体材質（真鍮、SUS）
- シール材(FKM)※特注でKalrez®も可能
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ベネフィット
- 省スペースでの設置が可能
- 安定した信頼性の高い動作が可能
- 汎用モデル。多様なアプリケーションに対応可能
- バルブが開放されリシールされた後も漏れることなく、機械や装置の本来の機能を発揮することがでる。
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2逆止弁
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使い方(用途)
- 逆止弁
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特徴
- コンパクト設計
- 圧縮空気および液体対応
- 体材質（真鍮、SUS）
- シール材(FKM)※特注でKalrez®も可能
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ベネフィット
- 省スペースでの設置が可能
- シール材が損傷しにくい設計
- 腐食しにくい※SUSボディ
- 汎用モデル。多様なアプリケーションに対応可能
- 逆流防止機構を設けることで装置トラブルを防ぐ
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透析装置
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1液体レギュレータ (RF シリーズ)
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使い方(用途)
- 透析液とRO水の圧力調整。
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特徴
- 本体素材: PPSU
- 軽量：102g
- 設定圧力: 0～60KPa (8.7psi)。
- 供給圧: 600kPa Max。
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ベネフィット
- 精密圧力制御が可能
- SUSボディより低価格
- 薬液耐性があり劣化しにくい
- 次亜塩素酸
- 酢酸
- 過酢酸
- クエン酸
- 炭酸ナトリウム
- 過酸化水素
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2液体検知センサ
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使い方(用途)
装置内に設置。液体漏れトラブルが発生した際に信号を発信させる。
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特徴
- センサーに液体（水、血液、尿など）を1滴垂らすだけで自動起動
- 自ら発電して検知信号を送ることが出来る(Bluetooth or BLT)
- コンパクトで省スペース
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ベネフィット
- 装置トラブル時に早期発見できる
- 医療現場での血液や薬品の漏洩が検知できる
- 電線や電池なしで取り付けが可能
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点滴・輸液回路
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1ディスポーザブル逆止弁
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使い方(用途)
- 逆止弁
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特徴
- 樹脂製ボディ＆シリコーンゴム
- コンパクト設計
- クラッキング圧力：2kPa(プライミング洗浄後)
- 最小開口部差圧：15kPa(水)
- 流量 550ml~/min (100kPa)
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ベネフィット
- クリーンルームで生産
- 衛生管理や品質要求の厳しい用途に最適
- 大量生産が可能でコストパフォーマンスが高い
- コンタミの可能性が低い
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2医療用シリコーンゴム製品
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使い方(用途)
- シール、逆止弁
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特徴
- LIM成形
- クラス100,000のクリーンルームで製造
- 硬度(20、50、70°)の3種類を標準ラインアップ
- ※オプションでその他の硬度も対応可能
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ベネフィット
- クリーンルームで生産。衛生管理や品質要求の厳しい用途に最適
- 大量生産が可能でコストパフォーマンスが高い
- コンタミの可能性が低い
- 複雑な成形品を大量に生産できる
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その他一般産業
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印刷装置・コーター・ラミネーター
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1エアリレー (RR シリーズ)
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使い方(用途)
- エアシリンダへのエア供給
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特徴
- 高分解能と優れた直線性
- 電源が不要
- 取付姿勢に制限がない
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ベネフィット
- 精密制御が可能でシリンダー特性を最大限活かせる
- 電源が取りにくい狭いスペースに取付けできる
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2BF シリンダ
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使い方(用途)
- ダンサーロールのアクチュエータ用途。テンションセンサで値を元にコントローラがエアの圧力を調整。そのエア圧力に基いた正確な出力をスムーズなストロークで実現
- BFシリンダとレギュレータ（電空変換器）の組合せ・使用例はこちら
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特徴
- 摺動部にBFダイヤフラムを採用
- 低摩擦で滑らかなストローク
- 潤滑油不要
- 長期停止後でも固着しない
- 微圧で作動し圧力変動に感度良く応答する
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ベネフィット
- 小さな荷重制御が可能
(従来のエアシリンダは摩擦抵抗があり小さな荷重制御が困難) - 精度良く最適な荷重を供給
(従来のエアシリンダでは、設定荷重と実際の荷重に違いがある) - ルブリケーターの用意が不要
- 長期停止後でも固着しない
- 固着トラブルが起きにくい
- 小さな荷重制御が可能
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用途及び実績例
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BFシリンダとレギュレータ（電空変換器）の組合せ
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バッファー
ワークを一定の力で押し付けつつ衝撃に対しては吸収して和らげる装置
- 各種溶着機
- 各種研磨機
- 各種圧着機
- RS：超精密減圧弁
- RR：超精密リレー
- RT：電-空変換器
- RP：精密減圧弁
- BF：シリンダ
- TC：薄型シリンダ
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バランサー
吊り下げられたワーク重量をシリンダでキャンセルしつつ、一定の力でワークをターゲットに押し当てる装置
- 液晶貼り合せ
- 装置重量キャンセラー
- 各種研磨機
- RR：超精密リレー
- RT：電-空変換器
- RP：精密減圧弁
- BF：シリンダ
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押し圧制御（1）
一定出力を毎回安定して供給できる用途を有した装置
- スポット溶接機
- 各種圧着機
- 各種溶着機
- 各種研磨機
- RS：超精密減圧弁
- RR：超精密リレー
- RT：電-空変換器
- RP：精密減圧弁
- BF：シリンダ
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押し圧制御（2）
一定出力を毎回安定して供給できる用途を有した装置
- 各種ボンディング装置
- 各種マウンター装置
- ハンドラー装置
- 半導体、液晶製造の周辺機器
- RS：超精密減圧弁
- RR：超精密リレー
- RT：電-空変換器
- RP：精密減圧弁
- BF：シリンダ
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圧延装置
回転する2本のロールの間に素材を通過させ引き延ばす装置。
- 各種ラミネーター
- 各種、箔製造装置
- 業用、液晶用フィルムの圧延装置
- RT：電-空変換器
- RP：精密減圧弁
- RR：超精密リレー
- TC：薄型シリンダ
RTとRRの2製品をRS・M/Sに置き換えることにより、更なる高精度の制御が可能となります。
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テンションコントロール
印刷機やラミネータで送り出される紙やフィルムの張力を制御する（ダンサーロール）
- グラビア印刷機
- フィルム印刷機
- 各種印刷機
- 各種巻取り機
- RT：電-空変換器
- RR：超精密リレー
- RP：精密減圧弁
- BF：シリンダ
RTとRRの2製品をRS・M/Sに置き換えることにより、更なる高精度の制御が可能となります。
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レギュレータの使用例
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ミキシング装置
異種な気体、流体を定量的に混合させる装置
- 麻酔器、呼吸器、その他の医療機器
- 酸素濃縮器
- 人口気腹装置
- 人口透析器
- 血球係数器
- RP：精密減圧弁
- RS：超精密減圧弁
- RA,RB：小型減圧弁
- RP1,RG1：小型精密減圧弁
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吐出制御
一定のエア圧力を加える事で、定量的に気体、流体を吐出させる装置
- ディスペンサー、一般産業機械
- 各種塗装機
- エアマイクロメータ
- RS：超精密減圧弁
- RP：精密減圧弁
- RT：電-空変換器
- RA,RB：小型減圧弁
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圧力タンク内圧制御
気体、流体の入ったタンクに一定圧を加え、タンク内の体積変動が起きた際も一定の圧力を保持できる装置
- 半導体周辺機器
- 液晶周辺機器
- 産業機械周辺機器
- RS：超精密減圧弁
- RP：精密減圧弁
- RA,RB：小型減圧弁
- VR1：リリーフ弁
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BFシリンダの使用例
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均圧シリンダ
海中などの設置された装置の作動油が熱膨張した際、その体積変化分を吸収しつつ海水とのバランス取る装置
- 油圧装置
- BF：シリンダ・特殊
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その他用途例
- 真空を利用した一般産業用吸気装置、吸着搬送装置。
- 医療器向けの圧力制御用装置全般。
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特殊シリンダの実績例
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エアベアリングシリンダ
小径から大径・ロングストロークまで幅広く対応可能です。 お気軽にお問い合わせ下さい。
- バランサー
- 各種研磨機
- 溶接機
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ロングストロークタイプ
基本ストロークはパッキンで駆動し、制御ストロークはBFダイヤフラムで押圧コントロールさせるコンポジット構造
- 研磨機
- スクリーン印刷機
- バランサ
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樹脂パッキンシリンダ
ゴムメーカーによる特殊パッキンシリンダ
あらゆる環境への対応可能- バランサー
- 各種産業機械
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特殊複動型低摩擦シリンダ LCシリーズ
複動型にもかかわらずBFダイヤフラムのみをキーパーツとした省スペースなシリンダ。超精密な荷重調整が可能です
- 研磨機
- 半導体液晶実装機
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Max出力15tを可能とした最大級シリンダ
エアプレスに最適です
- エアプレス
- 研磨機
- 試験機
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クリーンルーム対応
ゴムをフッ素ゴムに本体をアルミやステンレスで対策。更にゴミ対策として吸気ポートの設置も可能
- 半導体装置
- ナノ加工機
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耐熱薄型シリンダ
装置一体型を目的とし装置側の設置条件を満たした薄型シリンダ
- 半導体試験装置
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