ACシリーズ (超小型単動)
ACシリーズ (超小型単動)
超小型・軽量タイプ 摩擦抵抗ゼロ、摩耗ゼロのエアシリンダ
特徴
- 15mm×15mm×25mm、12gの小型・軽量製品
- ロッドガイド部にエアベアリングを採用。
- ロッドとガイドが非接触となるため、摩擦抵抗がなく超精密な押圧制御が可能。また、磨耗や発塵もありません。ロッドとガイドが非接触となるため、摩擦抵抗がなく超精密な押圧制御が可能。また、磨耗や発塵もありません。
- 形状のカスタマイズが可能。
用途
- 従来のシリンダでは不可能な精密押圧制御。
- 半導体製造装置内の精密押圧制御。
仕様
| 作動形式 | 単動押出形 |
|---|---|
| シリンダ経 mm | 4 |
| ストローク mm | 5 |
| 使用流体 | 圧縮清浄空気 |
| 使用圧力範囲 MPa | 0.01～0.6 *1 |
| 使用温度範囲 ℃ | 0～60（但し凍結不可） |
| 軸受方式 | 金属焼結体 |
| 製品重量 g | 12 |
| 可動部重量 g | 1.7 |
| 有効受圧面積 ㎟ | 12.6 |
*１：エアベアリングへの供給圧は使用圧力+50kPaとしてください。
型式表示方法
ACS-4-5
特性
サイズ
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