ACシリーズ (超小型複動)
ACシリーズ (超小型複動)
超小型の複動モデル。摩擦抵抗ゼロ、摩耗ゼロのエアシリンダ
特徴
- 製品外径を極力小さくした小型複動モデル
- ロッドガイド部にエアベアリングを採用。
- ロッドとガイドが非接触となるため、摩擦抵抗がなく超精密な押圧制御が可能。また、磨耗や発塵もありません。ロッドとガイドが非接触となるため、摩擦抵抗がなく超精密な押圧制御が可能。また、磨耗や発塵もありません。
- 形状のカスタマイズが可能。
用途
- 従来のシリンダでは不可能な精密押圧制御。
- 半導体製造装置内の精密押圧制御。
仕様
| 作動形式 | 複動形 |
|---|---|
| シリンダ経 mm | 6 |
| ストローク mm | 10 |
| 使用液体 | 圧縮清浄空気 |
| 使用圧力範囲 MPa | 0.01～0.6 *1 |
| 使用温度範囲 ℃ | 0～60（但し凍結不可） |
| 軸受方式 | 金属焼結体 |
| 有効受圧面積 ㎟ (押側/引側) | 28.3/15.7 |
*１：エアベアリングへの供給圧は使用圧力+50kPaとしてください。
型式表示方法
ACD-6-10
特性
サイズ
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